Deposição de filmes e modificação de superfície com imersão em plasma aplicando polarização pulsada no substrato entre 0 e 20 kV

• Processo: 09/01512-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de maio de 2009
• Data de Término da vigência: 30 de abril de 2011
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Filmes finos Materiais compósitos poliméricos Nanopartículas Ouro Propriedades mecânicas
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: compósitos | Dlc | Filmes finos | imersão em plasma | Implantação Iônica | Nanopartículas | Deposição de filmes e implantação iônica

Resumo

Neste projeto de pesquisa propomos inicialmente produzir filmes de DLC de alta dureza, sobre silício, implantando carbono em sua superfície para criar uma interface da ordem de 100nm, conferindo excelente adesão do filme ao substrato. Um aspecto original consiste em estimar previamente a profundidade de implantação iônica e concentração de carbono implantado no substrato através de simulação utilizando o programa TRIDYN. O segundo objetivo deste projeto consiste em obter e estudar filmes de DLC com nanopartículas de ouro incorporadas, gerando assim um nanocompósito metal/isolante. A proposta é depositar esses filmes utilizando duas diferentes metodologias. A primeira consistirá em co-depositar carbono e ouro, utilizando dois canhões de plasma funcionando com pulsos alternados. O segundo método constará da deposição de uma série de filmes de carbono alternados com implantação iônica do ouro. Para esta última metodologia, também faremos uso de simulações numéricas através do programa TRIDYN. Os filmes serão caracterizados por RBS, espalhamento de raios-X a baixos ângulos, nanoendentação, microscopia eletrônica de varredura e microscopia de força atômica. O objetivo final será identificar as diferenças estruturais dos compósitos de DLC com partículas de ouro incorporadas, obtidos pelos dois métodos propostos, comparar suas propriedades mecânicas e procurar entender os mecanismos que geraram as diferenças entre esses compósitos. (AU)