Aparato e método para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico

• Processo: 02/11415-2
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec)
• Data de Início da vigência: 01 de maio de 2003
• Data de Término da vigência: 30 de abril de 2007
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
• Pesquisador responsável: Elson Longo da Silva
• Beneficiário: Elson Longo da Silva
• Instituição Sede: Centro Multidisciplinar para o Desenvolvimento de Materiais Cerâmicos (CMDMC). Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). São Carlos , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 98/14324-0 - Multidisciplinary Center for Development of Ceramic Materials, AP.CEPID
• Assunto(s): Cristalização Filmes finos Fornos Micro-ondas Policristais Alumina Patentes
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Cristalizacao | Eletroaquecimento | Filmes Finos | Microondas

Resumo

Um aparato para processamento de filmes finos utilizando aquecimento por intermédio de um forno microondas doméstico é apresentado. O sistema de tratamento térmico é constituído de forno microondas doméstico, porta amostra, sensor e controlador de temperatura. A cavidade do forno de microondas é utilizada para acomodar o aparato desta invenção. O porta amostra é constituído de uma estrutura fabricada em alumina para colocação do elemento absorvedor de microondas (susceptor), entradas para o sensor de temperatura e controle da atmosfera. Com a utilização deste dispositivo é possível obter filmes finos à baixa temperatura e tempo reduzido, com morfologia homogênea, boa aderência ao substrato e boas propriedades eletrônicas e ópticas. Além de possibilitar o controle da cristalização na interface filme/substrato, possibilitando obter filmes orientados ou epitaxiais e o controle da cristalização na superfície do filme, de forma a obter-se filmes policristalinos. (AU)

Patente(s) depositada(s) como resultado deste projeto de pesquisa