Diagnósticos elétricos de plasmas de interesse tecnológico

• Processo: 95/09597-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 1997
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 1999
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Mauricio Antonio Algatti
• Beneficiário: Mauricio Antonio Algatti
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia (FEG). Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus de Guaratinguetá. Guaratinguetá , SP, Brasil
• Auxílio(s) vinculado(s): 97/01236-3 - Study of the mechanical stability of hmdsn plasma polymerized thin films., AR.EXT
• Assunto(s): Plasma (microeletrônica) Hidrocarbonetos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Densidade Eletronica | Energia Dos Eletrons | Funcao Distribuicao | Plasma | Temperatura Eletronica
• Publicação FAPESP: https://media.fapesp.br/bv/uploads/pdfs/Investindo...pesquisadores_269_203_204.pdf

Resumo

Neste projeto pretende-se estudar a evolução da temperatura e densidade eletrônica em plasmas de baixa temperatura produzidos a baixa pressão num reator cilindro com configuração capacitiva. Os plasmas serão gerados em atmosferas de gases inertes, gases orgânicos derivados de hidrocarbonetos e vapores de siloxanos. A partir destes elétrons e modelar a função distribuição destes plasmas em função dos parâmetros de operação e da configuração geométrica do reator. (AU)