| Processo: | 95/09597-0 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores |
| Data de Início da vigência: | 01 de janeiro de 1997 |
| Data de Término da vigência: | 31 de dezembro de 1999 |
| Área do conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas |
| Pesquisador responsável: | Mauricio Antonio Algatti |
| Beneficiário: | Mauricio Antonio Algatti |
| Instituição Sede: | Faculdade de Engenharia (FEG). Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus de Guaratinguetá. Guaratinguetá , SP, Brasil |
| Auxílio(s) vinculado(s): | 97/01236-3 - Study of the mechanical stability of hmdsn plasma polymerized thin films., AR.EXT |
| Assunto(s): | Plasma (microeletrônica) Hidrocarbonetos |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Densidade Eletronica | Energia Dos Eletrons | Funcao Distribuicao | Plasma | Temperatura Eletronica |
| Publicação FAPESP: | https://media.fapesp.br/bv/uploads/pdfs/Investindo...pesquisadores_269_203_204.pdf |
Resumo
Neste projeto pretende-se estudar a evolução da temperatura e densidade eletrônica em plasmas de baixa temperatura produzidos a baixa pressão num reator cilindro com configuração capacitiva. Os plasmas serão gerados em atmosferas de gases inertes, gases orgânicos derivados de hidrocarbonetos e vapores de siloxanos. A partir destes elétrons e modelar a função distribuição destes plasmas em função dos parâmetros de operação e da configuração geométrica do reator. (AU)
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