Atualização da infraestrutura da divisão de materiais e processos de microeletrônica do laboratório de sistemas integráveis

• Processo: 94/04567-2
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 1995
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 1995
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
• Pesquisador responsável: Claus Martin Hasenack
• Beneficiário: Claus Martin Hasenack
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Infraestrutura de pesquisa

Resumo

O projeto visa atualizar a infraestrutura laboratorial da Divisão de Materiais e Processos de Microeletrônica do LSI a fim de torná-la mais eficiente e menos sujeita a falhas. Pretende-se basicamente: a) instalar nova estação de limpeza de lâminas de silício (capela química +destilador +sistema de troca iônica + acessórios); b) ampliar e completar o sistema de detecção de gases; c) instalar sistema de distribuição de gases; d) ampliar sistema de produção de água gelada; e) constituir conjunto fundamental de peças de reposição da infraestrutura; f) ampliar a infraestrutura computacional; g) ampliar e completar a infraestrutura de caracterização de componentes; h) realizar serviços de manutenção do piso em diversos locais. (AU)