Kornely Grigorov | Inst. of Electronics and Mechanics/Bulgarian Academy of Sciences - Bulgária

• Processo: 01/14646-2
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Pesquisador Visitante - Internacional
• Data de Início da vigência: 01 de julho de 2002
• Data de Término da vigência: 30 de junho de 2003
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Homero Santiago Maciel
• Beneficiário: Homero Santiago Maciel
• Pesquisador visitante: Kornely Grigorov
• Instituição do Pesquisador Visitante: Bulgarian Academy of Sciences (BAS), Bulgária
• Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Caracterização estrutural Carbeto de silício Nitreto de alumínio Deposição de filmes finos Intercâmbio de pesquisadores
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao Estrutural | Carbeto De Silicio | Deposicao Por Plasma | Nitreto De Aluminio

Resumo

Entre as atividades que serão desenvolvidas pelo Dr. K. Grigorov destacam-se: a) deposição de filmes de AIN sobre Si pela técnica magnetron sputtering em diferentes condições experimentais; b) caracterização estrutural destes filmes, por meio de difração de raios-x para a verificação de aspectos da nucleação, formação de faces fcc e hexagonal. Será utilizada difração de raios-x com incidência rasante para o estudo da densidade e da espessura do filme; c) caracterização elétrica dos filmes, por meio da análise de curvas CxV e IxV, com as quais serão estudados os mecanismos de transporte de cargas ao longo do filme, e a densidade de estados de interface.; d) estudo do efeito do recozimento destes filmes em diferentes temperaturas, sobre suas propriedades; e) observação do efeito de uma inter-camada de SiC ou a-C:H entre o filme de AIN e o substrato de silício sobre as propriedades anteriormente citadas. (AU)