Kornely Grigorov | Inst. of Electronics and Mechanics/Bulgarian Academy of Sciences - Bulgária

• Grant number: 01/14646-2
• Support Opportunities: Research Grants - Visiting Researcher Grant - International
• Start date: July 01, 2002
• End date: June 30, 2003
• Field of knowledge: Engineering - Electrical Engineering - Electrical Materials
• Principal Investigator: Homero Santiago Maciel
• Grantee: Homero Santiago Maciel
• Visiting researcher: Kornely Grigorov
• Visiting researcher institution: Bulgarian Academy of Sciences (BAS) , Bulgaria
• Host Institution: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). São José dos Campos , SP, Brazil
• City of the host institution: São José dos Campos

Abstract

Entre as atividades que serão desenvolvidas pelo Dr. K. Grigorov destacam-se: a) deposição de filmes de AIN sobre Si pela técnica magnetron sputtering em diferentes condições experimentais; b) caracterização estrutural destes filmes, por meio de difração de raios-x para a verificação de aspectos da nucleação, formação de faces fcc e hexagonal. Será utilizada difração de raios-x com incidência rasante para o estudo da densidade e da espessura do filme; c) caracterização elétrica dos filmes, por meio da análise de curvas CxV e IxV, com as quais serão estudados os mecanismos de transporte de cargas ao longo do filme, e a densidade de estados de interface.; d) estudo do efeito do recozimento destes filmes em diferentes temperaturas, sobre suas propriedades; e) observação do efeito de uma inter-camada de SiC ou a-C:H entre o filme de AIN e o substrato de silício sobre as propriedades anteriormente citadas. (AU)