Projeto e desenvolvimento de um microsensor de pressão piezoresistivo integrado ut...
- Auxílios pontuais (curta duração)
| Processo: | 04/14311-9 |
| Linha de fomento: | Auxílio à Pesquisa - Pesquisa Inovativa em Pequenas Empresas - PIPE |
| Vigência: | 01 de julho de 2005 - 30 de setembro de 2010 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Carlos Eduardo Viana |
| Beneficiário: | Carlos Eduardo Viana |
| Empresa: | HCA Sistemas Inteligentes de Sensoriamento Integrados Indústria, Comércio Pesquisa Ltda |
| Município: | Francisco Morato |
| Bolsa(s) vinculada(s): | 05/54991-1 - Projeto e desenvolvimento de um microsensor de pressão piezoresistivo integrado utilizado em transdutores e transmissores de pressão industriais, BP.PIPE |
| Assunto(s): | Microeletrônica Sensores inteligentes Transdutores de pressão |
Resumo
Neste trabalho propõe se projetar e desenvolver um microsensor de pressão piezoresistivo integrado para ser utilizado em transdutores e transmissores de pressão industriais. Para tal finalidade pretendemos utilizar a tecnologia de processamento do silício, a microeletrônica para fabricar e integrar uma estrutura em viga, obtida através da corrosão anisotrópica do silício, com piezoresistores obtidos através da dopagem do silício. Além disso, este projeto também visa o encapsulamento do microsensor em uma célula de aço inox. Este material foi escolhido devido as suas características mecânicas altamente adequadas a esta aplicação, tais como: tenacidade, dureza, ductilidade, facilidade de manufatura, possibilidade de aplicação em diversos meios agressivos ou não. As diferentes possibilidades de aplicação para esses sensores encontram-se relacionadas a seguir: controle de linhas de processos industriais, controle de níveis de fluidos, controle de densidade de fluidos, controle de pressão em dutos de transporte de fluidos e esses sensores podem ser utilizados nos diferentes parques industriais, tais como indústrias: alimentícia, química, petroquímica, de controle de processos, aeroespacial, naval, controle de geração de energia e de equipamentos industriais (AU)