Projeto e desenvolvimento de um microssensor de pressão piezorresistivo integrado utilizado em transdutores e transmissores de pressão industriais

• Processo: 04/14311-9
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Pesquisa Inovativa em Pequenas Empresas - PIPE
• Data de Início da vigência: 01 de julho de 2005
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2010
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Carlos Eduardo Viana
• Beneficiário: Carlos Eduardo Viana
• Empresa: HCA Sistemas Inteligentes de Sensoriamento Integrados Indústria, Comércio Pesquisa Ltda
• Município: Francisco Morato
• Bolsa(s) vinculada(s): 05/54991-1 - Projeto e desenvolvimento de um microsensor de pressão piezoresistivo integrado utilizado em transdutores e transmissores de pressão industriais, BP.PIPE
• Assunto(s): Microeletrônica Sensores inteligentes Transdutores de pressão
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao Eletrica | Encapsulamento | Microeletronica | Microsensor De Pressao | Sensores Inteligentes

Resumo

Neste trabalho propõe se projetar e desenvolver um microsensor de pressão piezoresistivo integrado para ser utilizado em transdutores e transmissores de pressão industriais. Para tal finalidade pretendemos utilizar a tecnologia de processamento do silício, a microeletrônica para fabricar e integrar uma estrutura em viga, obtida através da corrosão anisotrópica do silício, com piezoresistores obtidos através da dopagem do silício. Além disso, este projeto também visa o encapsulamento do microsensor em uma célula de aço inox. Este material foi escolhido devido as suas características mecânicas altamente adequadas a esta aplicação, tais como: tenacidade, dureza, ductilidade, facilidade de manufatura, possibilidade de aplicação em diversos meios agressivos ou não. As diferentes possibilidades de aplicação para esses sensores encontram-se relacionadas a seguir: controle de linhas de processos industriais, controle de níveis de fluidos, controle de densidade de fluidos, controle de pressão em dutos de transporte de fluidos e esses sensores podem ser utilizados nos diferentes parques industriais, tais como indústrias: alimentícia, química, petroquímica, de controle de processos, aeroespacial, naval, controle de geração de energia e de equipamentos industriais (AU)