Subsurface microscopy of biased mos-fet structures: photothermal and electroreflectance images.

• Processo: 97/04850-4
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 21 de setembro de 1997
• Data de Término da vigência: 23 de setembro de 1997
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Antonio Manoel Mansanares
• Beneficiário: Antonio Manoel Mansanares
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Defeitos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Defeitos | Microeletronica | Microscopia Termica | Mos-Fet