Raman spectroscopy and afm analisys of low temperature uc-si:h films.

• Processo: 98/09961-1
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 12 de agosto de 1998
• Data de Término da vigência: 14 de agosto de 1998
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Ely Antonio Tadeu Dirani
• Beneficiário: Ely Antonio Tadeu Dirani
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microscopia de força atômica Espectroscopia Raman Microeletrônica Desenvolvimento de novos materiais
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Espectroscopia Raman | Microeletronica | Microscopia De Forca Atomica | Novos Materiais | Silicio Microcristalino