Effects of nitrogen ion implantation on plasma polymerized tetraisopropoxytitanium-oxygen-helium mixtures

• Processo: 08/50546-1
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 28 de abril de 2008
• Data de Término da vigência: 02 de maio de 2008
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Steven Frederick Durrant
• Beneficiário: Steven Frederick Durrant
• Instituição Sede: Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus Experimental de Sorocaba. Sorocaba , SP, Brasil
• Assunto(s): Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD) Titânio Implantação iônica Filmes finos Espectroscopia de fotoelétrons excitados por raios X
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Ion Implantation | Nitrogen Ions | Pecvd | Thin Films | Titanium | Xps