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Effects of hydrogen content on the characteristics of dlc films.

Processo: 99/09001-0
Modalidade de apoio:Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
Data de Início da vigência: 24 de novembro de 1999
Data de Término da vigência: 27 de novembro de 1999
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Marcos Massi
Beneficiário:Marcos Massi
Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
Assunto(s):Pulverização catódica  Espectroscopia Raman  Microscopia de força atômica  Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC) 
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Afm | Amorphous Carbon | Diamond-Like Carbon | Dlc | Raman Spectroscopy | Sputtering
Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre o auxílio:
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