Effects of hydrogen content on the characteristics of dlc films.

• Processo: 99/09001-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 24 de novembro de 1999
• Data de Término da vigência: 27 de novembro de 1999
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marcos Massi
• Beneficiário: Marcos Massi
• Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Pulverização catódica Espectroscopia Raman Microscopia de força atômica Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Afm | Amorphous Carbon | Diamond-Like Carbon | Dlc | Raman Spectroscopy | Sputtering