Atomic force microscopy used for surface finish inspection of diamond turned monocrystalline silicon.

• Processo: 00/02960-1
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 23 de maio de 2000
• Data de Término da vigência: 30 de maio de 2000
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Mecânica - Processos de Fabricação
• Pesquisador responsável: Renato Goulart Jasinevicius
• Beneficiário: Renato Goulart Jasinevicius
• Instituição Sede: Pessoa Física
• Assunto(s): Microscopia de força atômica Silício Rugosidade superficial
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Material Fragil | Microscopia De Forca Atomica | Rugosidade Superficial | Silicio