Surface integrity evaluation of diamond turned single crystal silicon component.

• Processo: 04/01761-6
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 30 de maio de 2004
• Data de Término da vigência: 03 de junho de 2004
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Mecânica - Processos de Fabricação
• Pesquisador responsável: Renato Goulart Jasinevicius
• Beneficiário: Renato Goulart Jasinevicius
• Instituição Sede: Escola de Engenharia de São Carlos (EESC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil
• Assunto(s): Semicondutores Integridade superficial Usinagem Nanotecnologia
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Ferramenta De Diamante | Integridade Superficial | Materiais Frageis | Nanotecnologia | Semicondutores | Usinagem