| Processo: | 02/09654-9 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior |
| Data de Início da vigência: | 12 de novembro de 2002 |
| Data de Término da vigência: | 14 de novembro de 2002 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Mecânica - Projetos de Máquinas |
| Pesquisador responsável: | Luiz Otávio Saraiva Ferreira |
| Beneficiário: | Luiz Otávio Saraiva Ferreira |
| Instituição Sede: | Faculdade de Engenharia Mecânica (FEM). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Scanner Sistemas microeletromecânicos |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Liga | Mems | Micromachining | Oscillator | Scanner | Silicon |
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