Ecr cvd sinx passivation in gaas based misfet devices.

• Processo: 07/04259-8
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 03 de setembro de 2007
• Data de Término da vigência: 06 de setembro de 2007
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Jose Alexandre Diniz
• Beneficiário: Jose Alexandre Diniz
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Sistemas microeletromecânicos Silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Microeletronica | Mos | Silicio | Microeletrônica