Time-of-flight flow sensor microstructure using free-standing polysilicon filaments

• Processo: 08/05923-1
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 01 de setembro de 2008
• Data de Término da vigência: 04 de setembro de 2008
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Roberto Jacobe Rodrigues
• Beneficiário: Roberto Jacobe Rodrigues
• Instituição Sede: Centro de Engenharia, Modelagem e Ciências Sociais Aplicadas (CECS). Universidade Federal do ABC (UFABC). Ministério da Educação (Brasil). Santo André , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Sensores Sistemas microeletromecânicos CAD
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Cad | Mems | Microeletronica | Microsystems | Sensors | Microeletrônica