Study of the mechanical stability of hmdsn plasma polymerized thin films.

• Processo: 97/01236-3
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 13 de abril de 1997
• Data de Término da vigência: 25 de abril de 1997
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Mauricio Antonio Algatti
• Beneficiário: Mauricio Antonio Algatti
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia (FEG). Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus de Guaratinguetá. Guaratinguetá , SP, Brasil
• Município da Instituição Sede: Guaratinguetá
• Vinculado ao auxílio: 95/09597-0 - Diagnósticos elétricos de plasmas de interesse tecnológico, AP.JP
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mechanical Stability | Plasma Etching | Plasma Materials Processing | Plasma Polymerized Films