Caracterizacao e desenvolvimento de filmes finos de oxidos e nitretos de silicio depositados por cvd visando a construcao de guias de onda em otica integrada, aplicada a sensores.

• Processo: 96/01817-3
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de maio de 1996
• Data de Término da vigência: 31 de maio de 1999
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Nilton Itiro Morimoto
• Beneficiário: Douglas Anderson Pereira Bulla
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Nitreto de silício Sensores
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Guia De Onda | Interferometro | Nitreto De Silicio | Otica Integrada | Sensor

Resumo

Dispositivos sensores baseados em ótica integrada, em diversos casos, requer como componente básico o interferômetro tipo Mach-Zehnder, que é constituído por um arranjo particular de guias de onda. A forma do interferômetro e as características óticas/estruturais das guias de onda são fatores relevantes na performance de cada tipo de sensor. As guias de onda serão formadas por filmes de SixNy sobre "buffer" de SixOy e cobertura de SixOy, obtidos por técnicas de CVD. Pretende-se estudar as relações entre os parâmetros físicos/químicos destes filmes, em específico a estequiometria, que possibilitará um controle efetivo sobre os índices de refração. Com estes parâmetros equacionados é possível otimizá-los para a obtenção dos filmes com características mais adequada à sua aplicação e construir, com critérios seguros, interferômetros e os sensores a que se destinam. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

BULLA, Douglas Anderson Pereira. Desenvolvimento e caracterização de filmes finos de óxidos de silício e nitreto de silício para a fabricação de guias e sensores ópticos.. 1999. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.