Otimização das etapas de fabricação de guias de onda ARROW para aplicação no desenvolvimento de sensores ópticos

• Processo: 07/08660-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de julho de 2008
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2011
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Marco Isaías Alayo Chávez
• Beneficiário: Daniel Orquiza de Carvalho
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Dispositivos ópticos Óptica integrada
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Dispositivos ópticos | Guias de Onda ARROW | Óptica Integrada | Sensores optofluídicos e eletro-ópticos | Dispositivos Ópticos Integrados

Resumo

Este projeto de pesquisa propõe a otimização de todas as etapas de processamento para a fabricação de guias de onda ARROW (Anti-Resonant Reflecting Optical Waveguides) com baixas perdas ópticas visando dar continuidade ao trabalho de mestrado já desenvolvido pelo candidato onde foram encontrados resultados promissores e onde foram utilizados materiais dielétricos como: o oxinitreto de silício (SiOxNy), depositados por PECVD ("Plasma Enhanced CVD") com composições diferentes, o óxido de titânio (TiOx) depositado pela técnica de sputtering, e o carbeto de silício amorfo hidrogenado PECVD (a-SiC:H), já amplamente caracterizados pelo grupo de pesquisa onde o candidato desenvolverá este projeto. Especificamente, pretende-se diminuir as perdas por propagação, através do aprimoramento da corrosão realizada na definição das paredes laterais dos guias de onda, além do estudo e caracterização das perdas por radiação em guias curvos, com diferentes raios de curvatura. Ademais, serão estudadas técnicas de inserção de luz, na entrada dos guias de onda, e captação da luz na saída dos mesmos. Finalmente, com os guias e os processos otimizados desenvolveremos alguns sensores ópticos mostrando a viabilidade de utilização destas estruturas ópticas.

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

CARVALHO, Daniel Orquiza de. Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos óptico integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento.. 2012. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.