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Deposição e caracterização de filmes de BST visando sua utilização em defasadores inteligentes operando em 60GHz

Processo: 12/07048-6
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Doutorado
Data de Início da vigência: 01 de julho de 2012
Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2015
Área de conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Ines Pereyra
Beneficiário:Marcus Vinicius Pelegrini
Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Microeletrônica   Ondas milimétricas
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Bst | Linhas de transmissão S-CPW | mmW | ondas milimétricas | Sputtering reativo | Microeletrônica

Resumo

Este projeto tem por objetivo principal a obtenção e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (BST), obtidos pela técnica de pulverização catódica reativa (sputtering reativo), visando explorar suas características ferroelétricas na fabricação de microssistemas eletromecânicos (MEMS), mais precisamente, defasadores sintonizáveis, baseados em linhas de transmissão coplanares, atuando em 60GHz

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Publicações acadêmicas
(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)
PELEGRINI, Marcus Vinicius. Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ.. 2016. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.