Otimização de RF MEMS fabricados em tecnologia CMOS para aplicações em ondas milimétricas

• Processo: 14/18011-1
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 2014
• Data de Término da vigência: 31 de agosto de 2015
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Gustavo Pamplona Rehder
• Beneficiário: Otavio Augusto Dantas Molitor
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 11/18167-3 - RF MEMS em ondas milimétricas utilizando processo CMOS comercial, AP.JP
• Assunto(s): Ondas milimétricas Radiofrequência CMOS
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Defasadores | ondas milimétricas | Otimização mecânica | RF MEMS (Radio Frequency Microelectromechanical System) | Rf Mems

Resumo

O presente trabalho pretende melhorar a performance dos defasadores em desenvolvimento no LME através da otimização mecânica destes RF MEMS. Para isso, a posição dos stoppers será variada para otimizar o deslocamento das tiras da camada de blindagem. Depois, o funcionamento RF dos dispositivos será otimizado e novos dispositivos serão enviados para foundry para fabricação. O pós-processamento será feito no LME e as medidas elétricas no IMEP-LAHC (França).