Caracterização de Plasmas em Reator para Produção de Filmes Finos e Tratamento de Superfícies.

• Processo: 09/14675-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de dezembro de 2009
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2012
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Roberto Yzumi Honda
• Beneficiário: Pedro William Paiva Moreira Júnior
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia (FEG). Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus de Guaratinguetá. Guaratinguetá , SP, Brasil
• Assunto(s): Filmes finos Descarga elétrica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Descargas Elétricas | diagnóstico de plasmas | Filmes finos | Polimeros a plasma | sondas de Langmuir | Temperatura eletrônica | diagnóstico de plasmas

Resumo

RESUMOO interesse na utilização da tecnologia de plasmas para a busca de novos materiais é um fato presente nos dias de hoje. Estes novos materiais conhecidos como polímeros a plasma, são obtidos de plasmas excitados por tensões de freqüência variável e/ou tensão contínua atuando sobre monômeros orgânicos ou sobre misturas destes com gases e/ou vapores inorgânicos, mantidos a baixa pressão. Nestes plasmas, elétrons livres, entre os vários canais de excitação e fragmentação molecular são os principais responsáveis pelas fragmentações do monômero, que resultam em espécies neutras, excitadas, ionizadas e principalmente radicais livres, que após complexos mecanismos de reações químicas de recombinação irão dar origem a novos materiais, conhecidos como polímeros a plasma.Esses novos materiais possuem uma estrutura, em geral muito diferente das de partida, do monômero. As propriedades físico-químicas desses materiais dependem da cinética química entre os constituintes da fase plasma. Este trabalho busca a caracterização da população eletrônica através da utilização de sondas eletrostáticas de Langmuir e ainda investigar, através da espectrometria de massa, a constituição química da fase plasma e o comportamento das espécies químicas em função de parâmetros externos ao plasma como pressão de operação e potência aplicada.