Estudo teorico-experimental da obtencao de pilares e filamentos de cobre utilizando processos eletroquimicos.

• Processo: 02/07017-1
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2004
• Data de Término da vigência: 31 de março de 2006
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Jacobus Willibrordus Swart
• Beneficiário: Nasser Mahmoud Hasan
• Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Pilares Cobre Nanofios
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Cobre | Deposicao Eletroquimica | Interconexoes | Nanofios | Pilares

Resumo

Neste trabalho, serão construídos pilares de cobre sobre superfícies de cobre e ouro com alta razão de aspecto e com dimensões horizontais desde nanômetros a fração de microns. Na obtenção dos pilares, serão utilizados processos eletroquímicos espontâneos para crescimento a partir de uma fotogravação (definição) prévia de fotorresiste e pré-ativação de superfície. Por outro lado, os filamentos serão obtidos a partir da deposição espontânea em membranas contendo canais nanométricos. As técnicas RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy), XRD (X-rays Diffraction), SEM (Scanning Electron Microscopy), AFM (Atomic Force Microscopy), STM (Scanning Tunneling Microscopy), TEM (Transmission Electron Microscopy) e, opcionalmente, a medida de resistividade de nanofios serão utilizadas na caracterização dos filmes e estruturas obtidas. (AU)