| Processo: | 95/03928-4 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Iniciação Científica |
| Data de Início da vigência: | 01 de dezembro de 1995 |
| Data de Término da vigência: | 30 de novembro de 1996 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | José Roberto Sbragia Senna |
| Beneficiário: | Andreia Leal Schemid |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Silício poroso Micromecânica |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Corrosao De Silicio | Micromecanica | Silicio Poroso | Solda Anedica |
Resumo Pesquisa experimental em processos de fabricação micromecânica em silício, mas especificamente: 1. Microusinagem de si pelo método de formação de si poroso seguida de remoção seletiva do si poroso. 2. Solda anodica Si-Si usando camada intermediária de vidro evaporado. (AU) | |
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