Software de visualização e simulação de processo de microfabricação em substrato

• Processo: 04/13438-5
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de fevereiro de 2005
• Data de Término da vigência: 31 de janeiro de 2006
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marcelo Nelson Páez Carreño
• Beneficiário: Paula Morita Hokama
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Softwares Visualização Substratos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Simulacao | Software | Visualizacao

Resumo

O presente projeto trata do desenvolvimento de um software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em substrato utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). O objetivo é desenvolver uma ferramenta de software que nos auxilie no projeto e desenvolvimento de MEMS fabricados com esta técnica de microfabricação. Em função disso, nossa proposta é desenvolver (em linguagem C) um Módulo de Simulação dos elementos básicos da corrosão anisotrópica do Si em soluções alcalinas (KOH). Assim, o algoritmo permitirá calcular, a partir das geometrias 2D contidas nas máscaras fotolitográficas, os perfis tridimensionais da corrosão do Si em função do tempo. Além disso, em função da relação entre as características da corrosão do Si e orientação das aberturas nas máscaras, será desenvolvida uma interface gráfica 2D para projeto e otimização das máscaras fotolitográficas. Esta interface implementará recursos gráficos (zoom, "snap", grade de referência, régua, inversão positivo/negativo de máscaras, etc.) e rotinas para desenho automatizado de geometrias específicas e complexas, como as utilizadas em atuadores de tipo "comb drive", engrenagens e rotores e estatores para motores eletrostáticos circulares. (AU)