Visualização e simulação de processos de microfabricação em MEMS: visualização atomística dos planos cristalográficos na corrosão anisotrópica de si

• Processo: 05/58899-2
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de fevereiro de 2006
• Data de Término da vigência: 31 de janeiro de 2008
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marcelo Nelson Páez Carreño
• Beneficiário: Fábio Belotti Colombo
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Visualização Desenvolvimento de software Simulação por computador
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Simulacao | Software | Visualizacao

Resumo

O presente projeto de pesquisa está relacionado ao desenvolvimento de um software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em substrato e em superfície, utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). O software em questão visa ser uma ferramenta de auxílio ao projeto e desenvolvimento de MEMS e já vem sendo desenvolvido através de outros projetos de Iniciação Científica e com apoio da própria FAPESP. Ele foi concebido de forma a integrar "módulos de simulação" dos processos de microfabricação com uma interface gráfica na qual são desenhadas as geometrias das máscaras fotolitográficas e visualizados os resultados das simulações. Nesse contexto, neste projeto serão abordados especificamente dois aspectos: (1) o desenvolvimento e otimização da interface gráfica na qual os módulos de simulação de processos de microfabricação devem ser integrados e (2) o desenvolvimento de um módulo de visualização e análise, em nível atômico, dos planos cristalográficos envolvidos na corrosão anisotrópica do Si. Assim, nossa abordagem será implementar na interface gráfica já mencionada, um novo módulo de visualização que, a partir do resultado da simulação dos perfis de corrosão de substratos de silício, permita visualizar as faces dessas cavidades e microestruturas em termos dos arranjos atômicos nos respectivos planos cristalográficos. (AU)