Simulação atomística de processos de microfabricação para MEMS

• Processo: 09/06766-0
• Linha de fomento: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Vigência (Início): 01 de agosto de 2009
• Vigência (Término): 31 de janeiro de 2011
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Marcelo Nelson Páez Carreño
• Beneficiário: Fábio Belotti Colombo
• Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Microfabricação Sistemas microeletromecânicos

Resumo

O presente projeto de pesquisa está relacionado ao desenvolvimento de um software para simulação/visualização atomística de processos de microfabricação utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). Devido à complexidade de operação e fabricação desses dispositivos, que rotineiramente exigem várias etapas de microfabricação, é de grande interesse contar com software para o projeto dos MEMS. Pensando nisso foram desenvolvidos dois softwares para simulação desse processo: simMEMS e autoMEMS. O presente projeto busca ampliar as funcionalidades destes softwares através da adição de um módulo para simulação da deposição e corrosão seletiva de filmes por autômato celular. Também será estudado a viabilidade se implementar ferramentas para análise estrutural e térmica das esturutras resultantes através do método dos elementos finitos.

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

COLOMBO, Fábio Belotti. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.. 2011. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica São Paulo.