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Simulação atomística de processos de microfabricação para MEMS

Processo: 09/06766-0
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Mestrado
Vigência (Início): 01 de agosto de 2009
Vigência (Término): 31 de janeiro de 2011
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica
Pesquisador responsável:Marcelo Nelson Páez Carreño
Beneficiário:Fábio Belotti Colombo
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Microeletrônica   Microfabricação   Sistemas microeletromecânicos

Resumo

O presente projeto de pesquisa está relacionado ao desenvolvimento de um software para simulação/visualização atomística de processos de microfabricação utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). Devido à complexidade de operação e fabricação desses dispositivos, que rotineiramente exigem várias etapas de microfabricação, é de grande interesse contar com software para o projeto dos MEMS. Pensando nisso foram desenvolvidos dois softwares para simulação desse processo: simMEMS e autoMEMS. O presente projeto busca ampliar as funcionalidades destes softwares através da adição de um módulo para simulação da deposição e corrosão seletiva de filmes por autômato celular. Também será estudado a viabilidade se implementar ferramentas para análise estrutural e térmica das esturutras resultantes através do método dos elementos finitos.

Publicações acadêmicas
(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)
COLOMBO, Fábio Belotti. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.. 2011. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica São Paulo.

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