Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.

Autor(es)

Fábio Belotti Colombo

• Tipo de documento: Dissertação de Mestrado
• Imprenta: São Paulo.
• Instituição: Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC)
• Data de defesa: 2011-05-30

Membros da banca

Marcelo Nelson Paez Carreño; Fabiano Fruett; Emílio Carlos Nelli Silva

• Orientador: Marcelo Nelson Paez Carreño

Resumo

O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades básicas para a análise mecânica de estruturas também foi desenvolvido. No que tange à microfabricação em superfície, o software desenvolvido permite simular a corrosão anisotrópica úmida do Si em KOH e deep reactive ion etching (DRIE). O simulador de corrosão úmida utiliza um autômato celular conhecido como BCA. O simulador de DRIE usa um autômato próprio. Para a simulação dos processos de microfabricação em superfície o software fornece quatro processos: deposição de filmes, corrosão de filmes, fotolitografia e planarização. Para corrosão e deposição de filmes, diversos autômatos celulares da literatura foram analisados e os resultados dessas análises é aqui apresentado. Todos os simuladores, tanto de microfabricação em superfície como em substrato, podem ser utilizados em conjunto. Isso torna o software bastante útil e capaz de simular a fabricação de um grande número de dispositivos. (AU)

• Processo FAPESP: 09/06766-0 - Simulação atomística de processos de microfabricação para MEMS
• Beneficiário: Fábio Belotti Colombo
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado