Estudo das propriedades mecânicas e térmicas de filmes de carbono tipo diamante obtidos mediante tecnologias de plasma para aplicações em micro-sistemas

• Processo: 00/11059-6
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de maio de 2001
• Data de Término da vigência: 30 de abril de 2002
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marcos Massi
• Beneficiário: Juan Manuel Jaramillo Ocampo
• Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Tecnologia de plasma Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Carbono Tipo Diamante | Corrosao | Mems | Micromecanica | Microssistemas | Tecnologia De Plasma

Resumo

Neste projeto de pós-doutoramento serão desenvolvidas atividades relacionadas com a caracterização mecânica e térmica dos filmes de carbono tipo diamante (DLC), com fins de verificar a viabilidade de sua utilização em micro-sistemas. Estas propriedades serão comparadas com as dos filmes tradicionalmente usados nos processos de micro-sistemas. Este material (DLC) foi escolhido devido as suas características físico-químicas proporcionarem grande perspectiva no desempenho dos dispositivos eletromecânico dos micro-sistemas, que possam vir a surgir. Pretende-se estudar as seguintes grandezas físicas: módulo de Young, tensão residual, coeficiente de expansão térmica e condutividade térmica. Parte destas propriedades serão determinadas mediante a construção de micro-estruturas, por isto, é também responsabilidade do proponente o desenvolvimento de processos litográficos e de corrosão adequados aos diferentes tipos de filmes depositados. A interação entre o desenvolvimento de processos por plasma (proposto no projeto de auxílio à pesquisa, já mencionado) com a caracterização mecânica e térmica dos filmes permitirá o aprimoramento destas características de modo que este material possa ser aplicado futuramente em micro-sistemas. (AU)