Desenvolvimento de Micro-Acelerômetros Opto-Eletro-Mecânicos Baseados em Polímeros

• Processo: 07/05616-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de dezembro de 2007
• Data de Término da vigência: 30 de junho de 2008
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
• Pesquisador responsável: Ricardo Cury Ibrahim
• Beneficiário: Janderson Rocha Rodrigues
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microfabricação Sistemas microeletromecânicos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: fotopolímero | Mems | micro-acelerômetro | Microfabricação | micro-sensor | Moems | micro-sensor

Resumo

Este projeto de pesquisa trata da capacitação de um aluno de excelente desempenho na área de desenvolvimento de micro-sensores. O trabalho aborda praticamente todas as etapas de desenvolvimento de um tipo relativamente recente de micro-acelerômetro baseado em efeitos opto-eletro-mecânicos e fabricado em polímero. A etapa de projeto inclui a modelagem do sistema através de equacionamento analítico, e a simulação computacional utilizando as equações analíticas deduzidas de forma a encontrar o dimensionamento adequado para o dispositivo. A etapa de fabricação aborda métodos clássicos de microfabricação herdados da microeletrônica com algumas adaptações, e inclui a fabricação e montagem de diversos componentes estruturais usando fotopolímero: guia para propagação de luz de um laser ou suporte para fibra ótica; massa de prova suspensa por quatro molas; estrutura para fixação de um fotodiodo (sensor). A etapa de caracterização inclui métodos estáticos e dinâmicos convencionais para caracterização de acelerômetros, bem como alguns métodos de fotodetecção necessários para essa configuração. Por se tratar de um tipo recente de acelerômetro com inúmeras possibilidades de aplicação, este trabalho oferece a oportunidade de continuação como uma pesquisa de pós-graduação.