Sensores de gases de filmes finos de dióxido de estanho poroso

• Processo: 01/08700-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2002
• Data de Término da vigência: 29 de fevereiro de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Vitor Baranauskas
• Beneficiário: Marcio Fontana
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Deposicao Cvd | Sensores De Gases | Silicio Poroso

Resumo

Nesse trabalho estuda-se os sensores de gases baseados em filmes finos de óxidos de metálicos porosos. Os sensores de gases de dióxido de estanho são depositados em duas etapas: obtenção do silício poroso (célula eletroquímica) e deposição do filme fino de dióxido de estanho (deposição por vapor químico). Para uma mesma dimensão, os sensores de gases com filmes fino de dióxido de estanho poroso apresentam a vantagem de possuir uma área efetiva muito maior comparados aos sensores de dióxido de estanho de filmes compactos. Essa característica torna os sensores de filmes fino de dióxido de estanho poroso muito mais sensíveis que os sensores de gases convencionais. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

FONTANA, Márcio. Sintese e caracterização de filmes porosos de carbono, silicio e oxido de estanho. 0000. Tese de Doutorado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação Campinas, SP.