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Caracterização de defeitos em semicondutores implantados por difração de raios-X

Processo: 00/05821-2
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Doutorado
Data de Início da vigência: 01 de outubro de 2000
Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2004
Área de conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
Pesquisador responsável:Lisandro Pavie Cardoso
Beneficiário:Renata Villela Orloski
Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Difracao De Raios-X | Difracao Multipla Raios-X | Implantacao Ionica | Semicondutores

Resumo

Neste projeto, pretende-se realizar a caracterização dos defeitos gerados na rede cristalina de materiais semicondutores, como por exemplo, Si e GaAs, pelo processo de implantação iônica, utilizando técnicas de difração de raios-X em geometrias de alta resolução. Análises com curvas de rocking, difratometria de triplo-eixo e principalmente a difração múltipla de raios-X serão realizadas, de forma a gerar informações importantes e complementares. Os casos BSD da difração múltipla, em que o feixe secundário é difratado paralelamente à superfície da amostra serão de grande utilidade para investigar os efeitos da formação da camada amorfa na sub-superfície no comprimento de coerência da matriz, correlacionando com os efeitos da relaxação local. Pretendemos também investigar os efeitos do tratamento térmico e da recristalização superficial nas varreduras Renninger e no mapeamento dos casos BSD, além da sensibilidade desta técnica para detectar efeitos da implantação de íons mais leves. (AU)

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Publicações acadêmicas
(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)
ORLOSKI, Renata Villela. Difração Bragg-Superficie (BSD): uma sonda de alta resolução para o estudo da implantação de íons em semicondutores. 2006. Tese de Doutorado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin Campinas, SP.