Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no interferômetro Mach-Zenhder

• Processo: 99/08179-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 1999
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2001
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Nilton Itiro Morimoto
• Beneficiário: Acácio Luiz Siarkowski
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Óptica integrada Sensores ópticos Interferômetros
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Guias Opticos | Interferomerto Mach-Zehnder | Microdispositivos | Optica Integrada | Sensor De Pressao | Sensores Opticos

Resumo

Este trabalho tem como objetivo a implementação de um sensor óptico de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ), dando continuidade aos estudos previamente realizados por Bulla, D.A.P. (1), que desenvolveu e caracterizou filmes finos de óxidos de silício e nitreto de silício para a fabricação de guias ópticos e sensores. Primeiramente, será realizado um levantamento das teorias a respeito dos processos CVD (Chemical Vapour Depositon), obtenção de filmes finos, guiamento óptico, guias ópticos, Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ) e sensores de pressão integrados. Em seguida, projetaremos o dispositivo baseando-se em parâmetros estruturais previamente estabelecidos por Bulla, D.A.P. (1) e em simulações que serão realizadas em um conjunto de programas dedicado à simulação de guiamento óptico, Com base no projeto, poderemos confeccionar as máscaras que serão usadas para o processamento do dispositivo. Os dispositivos obtidos poderão ser testados nos laboratórios de caracterização óptica e caracterização de sensores disponíveis no Laboratório de Sistemas Integráveis (LSI). (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

SIARKOWSKI, Acácio Luiz. Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ).. 2001. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.