Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silício acionado por indução

• Processo: 99/11115-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2000
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2002
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Ioshiaki Doi
• Beneficiário: Pedro Ricardo Barbaroto
• Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Circuitos magnéticos Scanner Luz
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Light | Mems | Microactuators | Microfabrication | Microsystem | Scanner

Resumo

Propõe-se o projeto, microfabricação e caracterização de um defletor de luz de silício acionado por indução eletromagnética, em cujo rotor, suspenso por barras de torção, haverá um espelho de 4x4mm2 e uma bobina, e em cujo encapsulamento haverá um circuito magnético gerador de campos magnéticos pulsantes ou oscilantes. O dispositivo deverá apresentar ângulo de deflexão do espelho de pelo menos 5 graus pico-a-pico à freqüência de ressonância de pelo menos 1,5khz. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

BARBAROTO, Pedro Ricardo. Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução. 0000. Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação Campinas, SP.