Mecanismos induzidos pelo material de eletrodo nos processos de corrosão por plasma

• Processo: 00/12582-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2001
• Data de Término da vigência: 30 de novembro de 2002
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Ronaldo Ruas
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao Por Plasma | Espectrometria De Emissao | Plasma | Silicio | Sondas Eletrostaticas

Resumo

Neste trabalho será estudado como o material do eletrodo de um sistema RIE altera as características físicas e químicas de plasmas e modifica os mecanismos da corrosão de silício realizada por plasmas de SF6. Temos conhecimento que com a variação do material de eletrodo ocorrem grandes variações nas corrosões por plasma. Esperamos determinar com mais precisão os mecanismos envolvidos que provocam tais variações. (AU)