Micropontas de silico com eletrodos integrados: fabricacao e caracterizacao eletrica.

• Processo: 07/53454-8
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 2007
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 2008
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marcelo Nelson Páez Carreño
• Beneficiário: Murilo Zubioli Mielli
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Corrosão anisotrópica Sistemas microeletromecânicos Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao Anisotropica | Mems | Micropontas De Si | Pecvd

Resumo

O presente projeto de pesquisa está relacionado à caracterização morfológica e elétrica de micropontas de silício com eletrodos de polarização integrados. As micropontas serão fabricadas através da corrosão anisotrópica do substrato de Si (que determina a morfologia das micropontas) e utilizando filmes de SiOxNy (obtido por PECVD) como material estrutural e de mascaramento. Neste processo de fabricação a morfologia das micropontas é determinada pela geometria das aberturas no material de mascaramento (SiOxNy), que também funciona como suporte mecânico para os eletrodos metálicos (de Cromo). Desta forma, ao final do processo, os eletrodos de Cr ficam auto-alinhados e integrados às micropontas. Até o momento já foram estabelecidos o processo de fabricação, aspectos básicos da morfologia e formação das micropontas e foi demonstrada a estabilidade mecânica do conjunto micropontas/eletrodos integrados. Porém, falta aprofundar o entendimento do mecanismo de formação das micropontas e fazer a caracterização elétrica dos dispositivos. Assim, os objetivos centrais deste projeto são (1) aprofundar no entendimento do processo de formação das micropontas e (2) caracterizar eletricamente os dispositivos para identificar os mecanismos de condução elétrica associados a estas estruturas. Esperamos com isso, estabelecer as bases para desenvolvimento futuro de dispositivos eletrônicos baseados nestas micropontas. (AU)