Micropontas de silico com eletrodos integrados: fabricação e caracterização elétrica

• Processo: 07/53454-8
• Linha de fomento: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Vigência (Início): 01 de agosto de 2007
• Vigência (Término): 31 de julho de 2008
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Marcelo Nelson Páez Carreño
• Beneficiário: Murilo Zubioli Mielli
• Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Corrosão anisotrópica Sistemas microeletromecânicos Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)

Resumo

O presente projeto de pesquisa está relacionado à caracterização morfológica e elétrica de micropontas de silício com eletrodos de polarização integrados. As micropontas serão fabricadas através da corrosão anisotrópica do substrato de Si (que determina a morfologia das micropontas) e utilizando filmes de SiOxNy (obtido por PECVD) como material estrutural e de mascaramento. Neste processo de fabricação a morfologia das micropontas é determinada pela geometria das aberturas no material de mascaramento (SiOxNy), que também funciona como suporte mecânico para os eletrodos metálicos (de Cromo). Desta forma, ao final do processo, os eletrodos de Cr ficam auto-alinhados e integrados às micropontas. Até o momento já foram estabelecidos o processo de fabricação, aspectos básicos da morfologia e formação das micropontas e foi demonstrada a estabilidade mecânica do conjunto micropontas/eletrodos integrados. Porém, falta aprofundar o entendimento do mecanismo de formação das micropontas e fazer a caracterização elétrica dos dispositivos. Assim, os objetivos centrais deste projeto são (1) aprofundar no entendimento do processo de formação das micropontas e (2) caracterizar eletricamente os dispositivos para identificar os mecanismos de condução elétrica associados a estas estruturas. Esperamos com isso, estabelecer as bases para desenvolvimento futuro de dispositivos eletrônicos baseados nestas micropontas. (AU)