Metodo indireto de medida de espessura de filmes por fluorescencia de raios-x de energia dispersiva.

• Processo: 97/01453-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 1997
• Data de Término da vigência: 31 de maio de 1999
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Química - Química Analítica
• Pesquisador responsável: Maria Izabel Maretti Silveira Bueno
• Beneficiário: Antenor Lopes de Jesus Filho
• Instituição Sede: Instituto de Química (IQ). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Filmes poliméricos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Energia Despersiva | Filmes Metalicos Espessos | Filmes Polimericos | Fluorescencia De Raios-X | Medidas De Espessura

Resumo

A intensidade de uma linha de raio-X de um elemento presente em um filme fino depende da espessura do filme. No caso de um filme muito fino, a intensidade aumenta linearmente com a espessura. Numa região intermediária de espessura, a intensidade varia exponencialmente com a espessura. A espessura maior que um determinado valor, denominado "espessura infinita", não há mais variação de intensidade. Baseado nisto, este projeto visa à determinação indireta da espessura de dois tipos de filmes, poliméricos (sem rendimento de fluorescência adequado) e metálicos espessos. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

JESUS FILHO, Antenor Lopes de. A espectrometria de fluorescencia de raios-X de energia dispersiva na medida de espessura de filmes polimericos e filmes metalicos espessos. 0000. Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Química Campinas, SP.