| Processo: | 98/02755-7 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Doutorado |
| Data de Início da vigência: | 01 de junho de 1998 |
| Data de Término da vigência: | 31 de maio de 2002 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Patrick Bernard Verdonck |
| Beneficiário: | Giuseppe Antonio Cirino |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Plasma (microeletrônica) Corrosão dos materiais |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Corrosao | Elementos Difrativos | Litografia | Plasma |
Resumo Pretende-se dominar a tecnologia de corrosão por plasma visando à fabricação de micro-elementos ópticos difrativos. Será necessário desenvolver novos processos e caracterizá-los do ponto de vista de taxas de corrosão, seletividade, anisotropia, uniformidade e rugosidade induzida pela corrosão. Será feito também caracterização físico-química dos plasmas utilizados nos processos. Serão construídos elementos ópticos difrativos binários, utilizando-se apenas uma máscara na etapa de foto-litografia e elementos em até oito níveis utilizando-se três máscaras na etapa de fotolitografia. Serão construídos elementos ópticos difrativos binários com microlentes através de um processo de fotolitogafia ligeiramente diferente do convencional. Os materiais utilizados serão o óxido de silício, inicialmente, e depois o silício monocristalino. Com este último material pretende-se implementar os elementos ópticos difrativos para que estes sirvam como molde na utilização de outros materiais como resinas. (AU) | |
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