| Processo: | 03/00754-3 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Doutorado Direto |
| Data de Início da vigência: | 01 de agosto de 2003 |
| Data de Término da vigência: | 31 de dezembro de 2007 |
| Área de conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada |
| Pesquisador responsável: | Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori |
| Beneficiário: | Rodrigo Sergio Wiederkehr |
| Instituição Sede: | Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Bocais Diamante Acionamento de máquinas elétricas Microfluídica |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Diamante | Mems | Microbocais | Microfabricacao |
Resumo A proposta do projeto de pesquisa consta do desenvolvimento de um processo para fabricação de placas contendo diversos bocais sônicos submilimétricos de diamante, com micro controle de abertura e fechamento seletivo, através de acionamento elétrico. Este tipo de dispositivo é genericamente conhecido como "Micro Electro Mechanical Systems" (MEMS) desde que envolve microfabricação e movimento em escala micrométrica. A idéia é utilizar moldes em silício, com microestruturas gravadas em sua superfície, para deposição de diamante e posterior dissolução do substrato de silício. Para o acionamento elétrico de abertura e fechamento dos microbocais será utilizado o efeito eletrostático de atração ou repulsão de um filme semi-suspenso próximo à entrada do microbocal. (AU) | |
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