Litografia por oxidacao anodica de nanodispositivos atraves de microscopia de forca atomica.

• Processo: 03/11576-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2004
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2006
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Gilberto Medeiros Ribeiro
• Beneficiário: Pablo Roberto Fernández Siles
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 98/14757-4 - Materiais nanoestruturados investigados por microscopias de tunelamento e força atômica através de medidas de transporte, AP.JP
• Assunto(s): Capacitores Microscopia de força atômica Litografia Diodos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Afm | Capacitores | Diodos | Litografia

Resumo

A construção de dispositivos em escala nanométrica passa por duas etapas de litografia - uma de ajuste grosso de padrões microscópicos, e uma de ajuste fino onde linhas e demais geometrias são gravadas em uma escala de dezenas de nanômetros. O objetivo neste trabalho é de fazer ambos os passos, no entanto o que concerne a litografia fina, que normalmente é realizada através de litografia por feixe de elétrons, aqui será realizada por litografia por oxidação anódica local através de microscópio de força atômica. O sistema a ser estudado centra-se primariamente nos pontos quânticos auto-formados (QDs). Pretende-se, em se integrando esta litografia e o crescimento de QDs, reunir o melhor de cada um destes - a precisão da litografia e as qualidades eletrônicas limpas de QDs - de maneira a estudar propriedades eletrônicas de um pequeno número de QDs isolados. Pretende-se com este trabalho a construção de dois dispositivos: 1) um diodo de fotocorrente permitindo a excitação de um único ponto quântico, auto-formado e enterrado dentro de camada ativa, e 2) um nanocapacitor, que permitirá a investigação de propriedades eletrônicas de um número reduzido de pontos quânticos. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

SILES, Pablo Roberto Fernández. Litografia por oxidação anódica seletiva de nanodispositivos através de microscopia de força atômica. 2006. Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin Campinas, SP.