Desenvolvimento e fabricacao de matrizes de microlentes para aplica cao em demultiplexacao de sinais em receptores opticos wdm.

• Processo: 03/10376-6
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2004
• Data de Término da vigência: 15 de novembro de 2005
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Antonio Carlos Seabra
• Beneficiário: Ricardo Tardelli Catelli
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Comunicação óptica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Comunicacao Optica | Microeletronica | Microoptica Difrativa

Resumo

As técnicas de fabricação de microeletrônica têm sido utilizadas em outras áreas de aplicação, notadamente na fabricação de sensores, micromáquinas e elementos microópticos. Em particular, a aplicação dessas técnicas em microóptica tem possibilitado o desenvolvimento de elementos que encontram ampla utilização em comunicação óptica. Este trabalho visa estudar a etapa de litografia por feixe de elétrons para aplicação na fabricação de elementos microópticos planares de relevo contínuo por escrita direta em resistes espessos como o EPON SU8. Para isso será realizada a caracterização completa da etapa litográfica, envolvendo a determinação das curvas de contraste em função dos parâmetros de processamento e extraindo-se parâmetros de efeito de proximidade de forma a possibilitar a síntese de elementos microópticos empregando-se litografia por feixe de elétrons. Dessa forma espera-se que, a partir de um arquivo de dados contendo a representação tridimensional do elemento microóptico, o mesmo possa ser gerado diretamente no filme de resiste espesso. Como prova de conceito e dando continuidade aos trabalhos de pesquisa do orientador (EPUSP) e seus parceiros (EESC-USP), pretende-se aplicar a metodologia assim desenvolvida na fabricação de uma matriz de microlentes a ser empregada na demultiplexação de sinais em receptores ópticos WDM. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

CATELLI, Ricardo Tardelli. Desenvolvimento de processo litográfico tri-dimensional para aplicação em microóptica integrada.. 2010. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.