Tecnicas de otimização para estimação de parametros de filmes finos

Autor(es)

Sergio Drumond Ventura

• Tipo de documento: Tese de Doutorado
• Imprenta: Campinas, SP.
• Instituição: Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Matemática, Estatística e Computação Científica
• Data de defesa: 2005-03-03

Membros da banca

José Mario Martínez Pérez; Ana Friedlander; Ivan Emilio Chambouleyron; Carlos Humes Junior; Jose Alberto Cuminato

• Orientador: Ernesto Julián Goldberg Birgin; José Mario Martínez Pérez

Resumo

Dentre os problemas inversos, a estimativa de parâmetros topticos tem significativa importância no estudo das propriedades fisicas de peliculas finas. Embora conhecido e estudado, não existem na atualidade tecnicas definitivas para a resolução deste problema. Para o problema direto, formulas compactas foram desenvolvidas para contemplar o caso de multiplos filmes, além do caso de um filme apenas com dados de reflretância. O índice de refração, o coeficiente de absorção e a espessura de filmes finos foram recuperados utilizando para isso dados de transmissão e/ou reflexão para vários comprimentos de onda. A abordagem usada foi a de formular o problema inverso como um problema de otimização, via quadrados mínimos não-lineares. Váarios modelos distintos foram usados para lidar com o alto grau de indeterminação naturalmente oriundo deste tipo de problema. Testes numéricos foram realizados usando dados (de filmes) medidos e gerados numericamente, mostrando a eficácia das abordagens (AU)

• Processo FAPESP: 00/13748-3 - Problemas de otimização em óptica
• Beneficiário: Sergio Drumond Ventura
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado