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Desenhar de MEMS inerciais microusinados de superfície sensor com otimização de topologia meta-heurística.

Texto completo
Autor(es):
Hossein Rostami Najafabadi
Número total de Autores: 1
Tipo de documento: Tese de Doutorado
Imprenta: São Paulo.
Instituição: Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC)
Data de defesa:
Membros da banca:
Thiago de Castro Martins; Meaghan Charest finn; Anatoli Chkrebtii; Mario Ricardo Gongora Rubio; Marcos de Sales Guerra Tsuzuki
Orientador: Thiago de Castro Martins; Ahmad Barari
Resumo

Os sistemas microeletromecânicos (MEMS) estão se tornando populares para uma variedade de aplicações devido ao seu pequeno tamanho, baixo custo e bom desempenho. Os dispositivos MEMS são projetados combinando formas simples com base na experiência de casos anteriores. O uso de métodos de projeto matemático, como a Otimização de Topologia (TO), ajuda a encontrar o melhor projeto possível para um aplicativo específico. Em uma aplicação de monitoramento de deslizamentos de terra, acelerômetros MEMS de alta sensibilidade são necessários para prever com precisão a ocorrência de deslizamentos de terra. Mas os métodos TO disponíveis são incapazes de encontrar um projeto com sensibilidade máxima, condição de carregamento variável e sujeito a várias restrições. As restrições são devidas aos limites de fabricação na fabricação de MEMS e aos limites de desempenho do problema físico. O objetivo desta tese é desenvolver um método TO meta-heurístico usando Simulated Annealing (SA) para resolver problemas TO não convexos e multi-restrições sem informação de gradiente. Este TO utiliza fatores de cristalização para melhorar a convergência e reduzir os custos computacionais no TO. O método proposto é validado com problemas de referência na literatura e é usado com sucesso para os acelerômetros TO MEMS. A análise dos parâmetros de otimização neste projeto fornece algumas informações úteis sobre convergência e exclusividade da solução ótima. Os designs otimizados são então comparados aos designs disponíveis para vários parâmetros de desempenho. Além disso, alguns métodos de filtragem e pós-processamento são desenvolvidos para aplicar os limites de fabricação no processo de litografia. (AU)

Processo FAPESP: 19/03453-2 - Sensor inercial micro-eletro-mecânico para cidades inteligentes
Beneficiário:Hossein Rostami Najafabadi
Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado