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Sensor inercial micro-eletro-mecânico para cidades inteligentes

Processo: 19/03453-2
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Doutorado
Vigência (Início): 01 de abril de 2019
Vigência (Término): 30 de abril de 2021
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Mecânica
Pesquisador responsável:Thiago de Castro Martins
Beneficiário:Hossein Rostami Najafabadi
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo, SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:17/50343-2 - Plano de desenvolvimento institucional na área de transformação digital: manufatura avançada e cidades inteligentes e sustentáveis (PDIp), AP.PDIP
Assunto(s):Otimização de processos   Projeto mecânico   Sensores   Sistemas microeletromecânicos   Silício   Cidades inteligentes

Resumo

Neste projeto, vamos projetar um sensor micro-eletromecânico que seria usado como um acelerômetro. A modelagem deste sensor inclui a modelagem de uma pastilha de silício com propriedades mecânicas anisotrópicas e considerações de fabricação. O design seria otimizado, o processo de otimização lida com o aumento da sensibilidade e a minimização do tamanho do sensor, enquanto as limitações de fabricação são consideradas. Finalmente, o sensor projetado e otimizado seria fabricado usando equipamentos disponíveis no laboratório do IPT para validação deste trabalho. (AU)