Uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER por partículas e micro-rugosidades em superfícies de silício.

Autor(es)

José Cândido de Souza Filho

• Tipo de documento: Tese de Doutorado
• Imprenta: São Paulo.
• Instituição: Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC)
• Data de defesa: 2008-07-01

Membros da banca

Sebastião Gomes dos Santos Filho; Lucila Helena Deliesposte Cescato; Newton Cesario Frateschi; Oswaldo Horikawa; Mikiya Muramatsu

• Orientador: Sebastião Gomes dos Santos Filho

Resumo

Neste trabalho é proposta uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER, com o objetivo de determinar o tamanho e o número de partículas aderidas em lâminas de silício com diferentes acabamentos superficiais. Neste trabalho foi utilizado um modelo teórico que descreve o espalhamento de luz por partículas dielétricas previamente depositadas sobre superfícies polidas. Esse modelo baseia-se na teoria analítica de espalhamento por partículas dielétricas suspensas num meio desenvolvida por Gustav Mie26, adaptado para partículas aderidas em superfícies28,29. Para caracterizar o equipamento por nós construído, foram utilizadas amostras contendo diferentes características ou feições superficiais: partículas de LATEX com quatro diâmetros diferentes (0,1 mm, 0,6 mm, 1,1 mm e 5,0 mm) previamente depositadas, amostras de lâminas de silício contendo padrões de linhas com alturas, larguras e espaçamentos conhecidos e amostras com micro-gotas de glicerina de diversos diâmetros (500 1800 mm). Obtivemos a intensidade total de luz espalhada em função das seções de espalhamento de cada elemento citado. Também foram feitas medidas de contagem de partículas e, em alguns casos, uma medida da assimetria horizontal das partículas presentes nas superfícies. Os resultados das medidas de espalhamento de luz por partículas e micro-gotas de glicerina foram comparados com os resultados previstos pelo modelo da reflexão desobstruída (URM) através de um programa implementado no MATLAB para o cálculo de seções de espalhamento, elaborado com base numa rotina de cálculo proposta por Bohren e Huffman. (AU)

• Processo FAPESP: 98/01642-4 - Caracterização quantitativa da contaminação por material particulado em superfícies de lâminas de silício utilizando as técnicas de espalhamento de luz laser e microscopia de força atômica
• Beneficiário: Jose Candido de Souza Filho
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado