APARELHO E REATOR PARA DEPOSIÇÃO DE FILMES DIAMANTÍFEROS TUBULARES OU CÔNICOS

Escritório	INPI
Tipo de documento:	Patente
Inventor(es):	Alfredo Carlos Peterlevitz; Helder Jose Ceragioli; Francisco Tadeu Degasperi; Pedro Miguel Raggio Santos; Jackson Tsukada; Hudson Giovani Zanin; Vitor Baranauskas

Depositante:	Centro Estadual de Educação Tecnológica Paula Souza (CEETPS); Universidade Estadual de Campinas Unicamp
Ano:	2009
Número do Pedido:	PI 0904750-6
IPC:	C23C 16/27

Resumo

APARELHO E REATOR PARA DEPOSIÇÃO DE FILMES DIAMANTÍFEROS TUBULARES OU CÔNICOS. A presente invenção refere-se de um aparelho assistido por filamentos quentes para deposição quimica na fase de vapor (HFCVD, hot-filament chemical vapor deposition)- de filmes diamantiferos uniformes, homogêneos e aderentes sobre substratos tubulares ou cônicos um reator de deposição para crescimentos de filmes diamantiferos sobre estruturas tubulares ou cônicas.

Processo FAPESP:	00/14846-9 - Obtenção de filtros de diamante poroso em forma de membranas e de tubos
Beneficiário:	Helder Jose Ceragioli
Pesquisador responsável:	Vitor Baranauskas
Instituição:	Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC)
Modalidade de apoio:	Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado

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