Busca avançada
APARATO E MÉTODO PARA CRISTALIZAÇÃO DE FILMES FINOS UTILIZANDO FORNO MICROONDAS DOMÉSTICO
| Escritório | INPI |
| Tipo de documento: | Patente |
| Inventor(es): | Carlos Alberto Paskocimas; Elson Longo Da Silva; José Arana Varela; Edson Roberto Leite; Jomar Sales Vasconcelos; Nazaré Do Socorro Lemos Silva Vasconcelos; Jose Wilson Gomes; Sonia Maria Zanetti |
| Depositante: | Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP) |
| Ano: | 2003 |
| Número do Pedido: | PI 0302339-7 |
| IPC: | H01L 21/02 |
Resumo
"APARATO E MÉTODO PARA CRISTALIZAÇÃO DE FILMES FINOS UTILIZANDO FORNO MICROONDAS DOMÉSTICO". A invenção descreve um aparato para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico, que compreende um porta amostra (210) para colocação de elementos absorvedores de microondas ou susceptores (212), uma amostra (211), um tubo (241) para entrada de gás, um termopar (231) para coleta de temperatura e um protetor térmico (213). A invenção ainda descreve um método para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico que compreende as etapas de
| Processo FAPESP: | 02/11415-2 - Aparato e método para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico |
| Beneficiário: | Elson Longo da Silva |
| Pesquisador responsável: | Elson Longo da Silva |
| Instituição: | Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). Centro Multidisciplinar para o Desenvolvimento de Materiais Cerâmicos (CMDMC) |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec) |