CV Lattes
Universidade de São Paulo (USP). Instituto de Física (IF) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Possui mestrado e doutorado em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (2002 e 2006), graduação em Tecnologia de Materiais, Processos e Componentes Eletrônicos pela Faculdade de Tecnologia de São Paulo (1997). Trabalhou em empresas de Tecnologia do Vácuo e tem experiência na área acadêmica em Física, com ênfase em Física da Matéria Condensada, atuando principalmente nos seguintes temas: filmes finos, diamante CVD, microestruturas, Microscópio de Força Atômica (AFM), Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV), e Espectrometria de Massa. (Fonte: Currículo Lattes)
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Uma forma de utilizar o diamante para fabricação de microestruturas é utilizar o silício com molde: são criadas microestruturas em silício, então um filme de diamante é depositado sobre esse substrato e, então, o silício é corroído, obtendo-se uma réplica da microestrutura. Nessa técnica fica clara a importância da fidelidade morfológica da réplica de diamante, com relação ao molde de ori…
O objetivo deste trabalho é o de avaliar quantitativamente a pureza química dos filmes depositados pela técnica "Metal Plasma Immersion lon Implantation and Deposition System" (MePIIID), comparada com a pureza do catodo utilizado. Este equipamento, além de depositar filmes metálicos, inclui a possibilidade de deposição de filmes finos de alguns óxidos, nitretos, ligas metálicas, carbetos …
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