Resumo
Este trabalho visa a deposição e caracterização de filmes de óxido de titânio (TiO2) e oxinitreto de titânio (TiOxNy) com diferentes concentrações de nitrogênio. A idéia é correlacionar as propriedades estruturais, elétricas, dielétricas, ópticas e a estabilidade termodinâmica com a composição química do material. Esta proposta vai de encontro com as linhas de pesquisa em dispositivos sem…